Nibihe biranga n'amahame ya tekiniki yibikoresho bifatika

Filime yoroheje kurugero rwashizweho ni imiterere idasanzwe.Mu cyerekezo cyihariye cyubugari, igipimo ni gito cyane, ni microscopique yapimye.Mubyongeyeho, kubera isura nubuso bwubunini bwa firime, gukomeza ibintu birangira, bigatuma amakuru ya firime hamwe namakuru yerekanwe afite ibintu bitandukanye bihuriweho.Kandi intego ni ugukoresha cyane cyane magnetron sputtering coating, editing ya Beijing Richmat izadutwara kubyumva ihame nubuhanga bwo guswera.

　　一 Ihame ryo gutwikira

Ubuhanga bwo gusohora ubuhanga ni ugukoresha ion shelling intego igaragara, atom intego yibasiwe nibintu bizwi nka sputtering.Atome zashyizwe hejuru yubutaka bwitwa sputtering coating. Muri rusange, ionisiyasi ya gaze iterwa no gusohora gaze, kandi ion nziza itera ibisasu bya cathode ku muvuduko mwinshi bitewe n’umuriro w’amashanyarazi, ikubita atome cyangwa molekile za intego ya cathode, no kuguruka hejuru ya substrate kugirango ishyirwe muri firime.Mu magambo make, gutwikisha ibishishwa bifashisha umuvuduko muke wa inert gaze ya gaze kugirango itange ion.

Mubisanzwe, ibikoresho byo gusasa firime bisohora bifite electrode ebyiri mubyumba bisohora vacuum, kandi intego ya cathode igizwe namakuru yatanzwe.Icyumba cya vacuum cyuzuyemo gaze ya argon ifite umuvuduko wa 0.1 ~ 10Pa.Gusohora kwinshi biboneka kuri cathode munsi yumurimo wa voltage mwinshi wa 1 ~ 3kV dc cyangwa rf ya voltage ya 13.56mhz.Argon ion yibasiye hejuru yintego kandi bigatuma atome yibasiwe yegeranya kuri substrate.

　　二 、 Ibiranga ubuhanga bwo gutwikira

1 speed Umuvuduko wihuse

Itandukaniro riri hagati yihuta ya magnetron yihuta ya electrode hamwe na etape ebyiri zisanzwe zisohora electrode nuko magnet yatunganijwe munsi yintego, bityo umurima wa magneti ufunze utaringaniye uboneka hejuru yintego。Imbaraga za lorentz kuri electron zerekeza kuri centre ya magnetiki ya heterogeneous.Kubera ingaruka zo kwibandaho, electron zihunga bike.Umwanya wa magnetiki wa heterogeneous uzenguruka hejuru yintego, kandi electroni ya kabiri yafashwe mumashanyarazi ya heterogeneous igongana na molekile ya gaze inshuro nyinshi, ibyo bikaba byongera umuvuduko mwinshi wa molekile ya gaze. Kubwibyo rero, umuvuduko mwinshi wa magnetron ukoresha imbaraga nke, ariko irashobora kubona uburyo bwiza bwo gutwikira, hamwe nibyiza byo gusohora.

2 temperature Ubushyuhe bwa substrate buri hasi

Umuvuduko mwinshi wa magnetron, kandi bizwi nkubushyuhe buke.Impamvu nuko igikoresho gikoresha imyanda mumwanya wa electromagnetic yumurima igororotse.Electron ya kabiri iboneka hanze yintego, murindi.Mubikorwa byumurima wa electromagnetique igororotse, irahambirwa hafi yintego yintego kandi ikanyura kumuhanda kumurongo uzunguruka, ikubita inshuro nyinshi kuri molekile ya gaze kugirango ionize molekile ya gaze. Hamwe na hamwe, electron ubwazo zitakaza ingufu buhoro buhoro, zinyuze gusubiramo inshuro nyinshi, kugeza igihe imbaraga zabo zabuze hafi mbere yuko zishobora guhunga hejuru yintego hafi ya substrate.Kuberako ingufu za electron ziri hasi cyane, ubushyuhe bwintego ntabwo buzamuka cyane.Ibyo birahagije kugirango uhangane n'izamuka ry'ubushyuhe bwa substrate ryatewe no guturika ingufu za electron nyinshi zatewe na diode isanzwe, irangiza korohereza.

3 range Urwego runini rwimiterere ya membrane

Imiterere ya firime yoroheje yabonetse kubwo guhumeka no gutera inshinge iratandukanye cyane niyabonetse muguhumeka ibintu byinshi.Bitandukanye n’ibisanzwe bisanzwe biriho, bishyirwa mubikorwa nkuburyo bumwe muburyo butatu, firime zashyizwe mugice cya gaze zashyizwe mubikorwa nkuburyo butandukanye. Filime ntoya ni inkingi kandi irashobora gukorwaho iperereza na microscopi ya electron.Gukura kwinkingi ya firime guterwa nubuso bwa convex yumwimerere ya substrate hamwe nigicucu gito mubice byingenzi bya substrate.Nyamara, imiterere nubunini bwinkingi biratandukanye cyane bitewe nubushyuhe bwa substrate, gukwirakwiza hejuru ya atome zegeranye, gushyingura atome zanduye hamwe nibyabaye Inguni ya atome yibyabaye ugereranije n'ubutaka bwa substrate.Mubushyuhe bukabije, firime yoroheje ifite imiterere ya fibrous, ubwinshi bwinshi, igizwe ninkingi nziza ya kristu, niyo miterere yihariye ya firime.

Umuvuduko ukabije hamwe no kwihuta kwa firime nabyo bigira ingaruka kumiterere ya firime.Kuberako molekile ya gaze ifite ingaruka zo guhagarika ikwirakwizwa rya atome hejuru yubutaka bwa substrate, ingaruka zumuvuduko mwinshi urakwiranye nubushyuhe bwa substrate bugabanuka mubyitegererezo.Kubwibyo, firime yuzuye irimo ibinyampeke nziza irashobora kuboneka kumuvuduko mwinshi.Iyi firime ntoya yubunini ikwiriye gusiga amavuta, kwihanganira kwambara, gukomera hejuru hamwe nubundi buryo bukoreshwa.

4 Tegura ibihimbano neza

Imvange, imvange, ibivanze, nibindi, biragoye rwose gutwikirwa no guhumeka kwa vacuum kubera ko imyuka yumuyaga yibigize itandukanye cyangwa kubera ko itandukanya iyo yashyutswe. kuri substrate, murubwo buryo ni ubuhanga bwo gukora film neza.Ubwoko bwose bwibikoresho birashobora gukoreshwa mubikorwa byo gutwikira inganda mukoresheje sputtering.